ОАО "Элпа" - Изделия, Корректор пьезоэлектрический КП-1

Корректор пьезоэлектрический КП-1

Корректор пьезоэлектрический микроперемещений обладает большим быстродействием, безинерционностью, малой потребляемой мощностью.

ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ
Пьезоэлектрический корректор применяется для обеспечения прецизионного перемещения с точностью до тысячных долей мкм:

в фото-, рентгено- и электронолитографии для точного совмещения шаблонов в оборудовании;

в медицинской техники для точной подачи инструмента;

в лазерной аппаратуре для управления мощностью излучения, расходимостью пучка;

в системах сканирования оптического луча в пространстве и других прецизионных устройствах.

ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ

Параметр	Единица измерения	Значение
Линейное изменение длины при положительном или отрицательном напряжении не более 230 В, не менее	мкм	5
Статическая емкость, не более	мкФ	0,05
Сопротивление изоляции, не менее	МОм	20
Допустимое рабочее электрическое напряжение, не более	В	+250
Рабочий диапазон частот	Гц	5…1000
Масса, не более	г	150